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技術文章
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    半導體工廠氣體檢測儀
    型 號:PS-6ND
    品 牌:日本新宇宙
    技術指標:檢測原理:熱分解,定電位電解式;NF3,CCI4用 
    漢中半導體工廠氣體檢測儀-PS-6ND-日本新宇宙
    功能描述
    檢測原理: 熱分解,,定電位電解式;NF3,CCI4用
    采樣方式: 泵吸引式
    采樣配管: 特富龍外徑6/內(nèi)徑4mm,,配管距離20m以內(nèi);但吸著性強的氣體最大配管距離為5m
    氣體濃度顯示: 0~9999LED顯示
    輸出信號: 用DeviceNet的數(shù)字通信
    流量低下信號: 用DeviceNet的數(shù)字通信
    適合電纜: 電源用:KW或KW-P2芯;通信:DeviceNet專用電纜
    使用溫度: 0℃~40℃
    消耗電力 本機:約15W通信,,約2W
    電源需求
    電壓 DC24±10%
    物理特性
    長度 145mm(突起部分除外)
    寬度 37mm
    高度 198mm
    重量 2.7kg
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