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技術(shù)文章
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    半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀
    型　號(hào)：XD-303PH
    品　牌：日本新宇宙
    技術(shù)指標(biāo)：檢測(cè)對(duì)象氣體：膦 
    文山半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀-XD-303PH-日本新宇宙
    功能描述
    檢測(cè)對(duì)象氣體： 膦
    檢測(cè)范圍： 0-1ppm；0-0.3ppm
    最小刻度： 0.1ppm；0.01ppm
    采樣方式： 自動(dòng)吸引式
    應(yīng)答速度： 60%應(yīng)答40秒
    ，，
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